低温干燥箱的诸多优点

1.采用方形真空室，使其空间利用更充分。2.只需将门轻轻关上，就能够自动吸住，进行真空处理。3.提高了抽气速率。4.在箱体门前设置放气阀，使其抽气、放气操作更加方便。

工业烘箱提供可靠性能

工业烘箱可以采用自动控制系统进行操控，并且在操作的时候，有测定温度双数字显、定时、功率抑制和自整定功能，让控温的温度可以更加的可靠。并且在工业烘箱内部，也有设计热风循环系统，主要由低噪声风机和风道组成，让烘箱内部的温度可以更加的均匀。

热风循环烘箱的配置

箱体部分

采用流线圆弧型设计，外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑；内胆均为镜面不锈钢材料制成；工作室内搁架可随用户要求任意调节高度及搁架多少；采用EBM风机(10档风速调整)，微量风循环，有利于干燥细小或粉末有关物品并且使箱内温度更加均匀，同时使箱内物品蒸发的水蒸汽加速散逸到箱外的空气中，以提高干燥效率；合理的风道和循环系统，使工作室内的均匀度变化小。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，电焊条烘箱，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

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