使用操作烘箱要注意以下几点：

（一）烘箱的时间一定要调正确，这样才能达到烘烤的效果。

（二）烘箱的温度一定要调正确，这样才能保正烘烤的质量。

（三）烘箱的废气排放一定要合理，千万不能堵住。

（四）烘箱按装的电线一定要有足够的截面，保证安全用电。

（五）烘箱按装必须接可靠的地线。

（六）烘箱装放的四周必须有一定的散热空间，不能靠近易着火物。

（七）烘箱四周要装放气体灭火器。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，电子干燥箱价格，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

热风循环烘箱工作原理

当保温灭菌时间达到设定值时，时间继电器输出信号给PLC，PLC输出全闭电加热，开启水冷却电磁阀，使其吸合导通，从而箱体处于冷却降温阶段。当箱内温度下降≤40℃时，温控仪输出控制信号给PLC，PLC输出关闭热风循环风机，干燥灭菌周期程序结束。 TEED一2001 K超温报警温控仪输出信号控制PLC整个程序的运行，铂电阻PT 100测试信号至报警温控仪与超温报警设置温度值进行比较，当实际温度值低于设定值时，输出控制信号给PLC，PLC程序正常运行。当实际温度值超过设定值时，输出控制信号给PLC，PLC关闭运行程序。故超温报警的设置值一般要高于工作温度的设定值。

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